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Optino 波前測試技術與干涉儀技術對比
Optino 波前測試系統相對于干涉儀的優點
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?干涉儀 |
?Optino 波前系統 |
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購買、運行、維護費用高 |
非常便宜 |
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系統體積大，需要大型光學平臺 |
結構緊湊，普通桌子就可以 |
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需要昂貴的隔振平臺 |
非常耐用，無需隔振，普通桌子就可以，即使重擊桌子也不會影響測試結果或儀器性能 |
| 4 |
需要潔凈室 |
普通干凈的實驗室環境足夠了 |
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需要控制測試現場的氣流 |
可以在緊靠打磨機器工作現場使用 |
| 6 |
需要激光光源 |
普通光源或激光均可 |
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由于激光波長范圍有限，只能工作在有限的幾個波長 |
任何波長均可工作，從193nm到1700nm，軟件功能不受波長和配置的影響 |
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僅限于測試平面、球面及淺度非球面測試 |
可以測試深度非球面元件（球形失常值達50λ） |
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不能測試非規則形狀元件 |
可以測試非規則元件，如柱面鏡 |
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動態范圍受CCD探測器上干涉條紋限制， |
方法本身具有高動態特性 |
Optino? vs Zygo Interferometer
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通過使用Zygo GPI xp HR干涉儀和Spot-Optics公司的Optino 波前測試系統對一個硬盤上小面積(7mm)區域，進行測試對比。
右圖白色圓圈位置的區域即為測試區域，是一個平整的表面，測試的波長為632nm,下圖為主要測試得到的參數對比：
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?去除了傾斜(Tilt), Piston and?散焦 (defocus)影響后的表面3D形貌圖（ Zygo ）
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?去除了傾斜和散焦的3D表面形貌圖(Optino) |
Optino? vs Veeco Interferometer
- A small area (9mm) of a flat mirror was tested using a high?
resolution Veeco interferometer.
- The same area was tested with our standard instrument Optino/Sensoft mounting a cooled CCD camera.
-Both the tests were done at 632.8nm
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| Veeco |
Optino |
更多信息請瀏覽：? Accuracy of SpotOptics wavefront sensors.pdf
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解決方案
